五氟化钽(Tantalum pentafluoride）分子式TaF₅，相对分子质量275.95。

1．产品性能

白色固体。有毒，沸点229℃，熔点97℃。吸湿性大，与水作用发出声音，密度4.74g/cm³ (20℃)。

2．生产方法

高纯氟与高纯钽粉于370℃左右发生氟化反应，经真空蒸馏得高纯五氟化钽。

3．工艺流程

4．生产工艺

在装有高纯钽粉的反应器中，导入经过净化的高纯氟气体，反应温度350-390℃ ,氟化生成五氟化钽。将得到的氟化产物进行真空蒸馏，收集-10℃真空蒸馏分，得高纯五氟化钽。

5．产品标准

外观               白色固体

五氟化钽(TaF₅)     ≥99 ％

熔点               97℃

6．产品用途

高纯五氟化钽在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。

7．安全与贮运

产品有毒，氟为高氧化性腐蚀性气体。设备应注意密闭，车间内加强通风，操作人员应穿戴劳保用具，按有毒化学品规定包装与贮运。