六氟化钼(Molybdenum hexafluoride）分子式MoF₆，相对分子质量209.93。

1．产品性能

低温下为白色结晶固体。有毒！沸点35℃，熔点17.5℃。吸湿性大，与水反应发出声音，在潮湿空气中产生蓝烟，是一种强氧化剂。气体密度是空气的7倍，液体密度2.543g/mL(19℃)。在空气中允许极限浓度（TLV）为5mg/m³。

2．生产方法

高纯钼粉与氟直接反应，经纯化得高纯六氟化钼。

3．工艺流程

4．生产工艺

在装有纯化钼粉的反应器中，导入经过净化的高纯氟气体，控制反应温度在250-300℃,氟化生成六氟化钼。氟化产物经过1-3级接收器，在第一级回收高沸点杂质，第二级在-5-5℃回收六氟化钼，第三级回收过剩的氟及低沸点杂质。将六氟化钼经真空蒸馏，得到高纯六氟化钼。

5．产品标准

6．产品用途

在电子工业中，高纯六氟化钼用作化学气相淀积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线栅极。

7．安全与贮运

六氟化钼为低沸点、有腐蚀性、有毒的物质，在湿空气中水解生成氢氟酸。TLV : 5mg/m³。车间内加强通风，操作人员应穿戴劳保用具。产品用钢瓶充装。按有毒气体贮运。