三氯化硼（Boron trichloride）又称氯化硼（Boron chloride)。分子式BC1₃，相对分子质量117.17。

1．产品性能

三氯化硼在低于12.5℃时为无色带有强烈臭味的液体。在水中水解生成氯化氢和硼酸，并放出大量热量。在湿空气中因水解而生成烟雾。固体三氯化硼为六方晶格的晶体。凝固点-107.3℃，沸点12.5℃。相对密度（d₄¹¹) 1.349。有毒。

2．生产方法

(1)三氟化硼与三氯化铝反应0，得到三氯化硼。

BF₃ +AICI₃→BCl₃ +AIF₃

(2)直接合成法（元素硼直接氯化法）将元素硼加热通氯气自燃反应制得。

2B+3CI₂→2BCI₃

(3)高温氯化法 将硼酐（或硼砂、硼酸）和炭混合，加热至600-700℃，通入氯气反应得三氯化硼。

B₂0₃+3C+3C1₂→2BC1₃ +3CO↑

(4)复分解法将氟硼酸钾和三氯化铝在油浴上加热反应而得。

此外，也可由硼和氯化银、氯化汞或氯化铅加热制得；或由四氯化碳和硼在200-250℃加热制得；也可由三氯化砷和三溴化硼、三氧化二硼与五氯化磷、氯气或氯化氢与硫化硼、氯气与硼化钙反应制得三氯化硼。

3．工艺流程

(1)三氟化硼法

(2)直接合成法

4．生产工艺

(1)三氟化硼法在反应瓶中装入134g无水氯化铝，在加热下导入三氟化硼气体，所生成的三氯化硼导入一个U形管中冷却（用液氮冷凝至-80℃)。将粗品与少量Hg摇振后重新冷凝，得三氯化硼约94g。

(2)直接合成法将干燥的元素硼粉放入管式反应炉的反应管里，反应管内装有一定量的与管同材质的填料。为使氯与硼粉充分进行反应，先用惰性气体排除空气，然后加热至300℃，通入小量氯气，在温度达650℃时，可大量通入氯气，温度控制在650-750℃。生成的三氯化硼由接收器用干冰冷却收集，收集的三氯化硼再经精馏即得成品。反应管中的剩余硼粉可继续与新加硼粉一起参与反应，直至管中残渣影响反应时为止。

(3)复分解法将266.6g无水三氯化铝和124g氟硼酸钾（KBF₄）投入反应器中，混匀，用油浴加热4h。缓慢将温度由150℃升至170℃。反应生成的BCl₃随之被蒸馏出反应体系，进入U形管中冷却（用液氮冷凝至80℃)。得到的粗品再蒸馏一次，得到三氯化硼纯品。

5．产品标准（％）

含量（BCl₃)             ≥99.5

游离氯(C1)              ≤0.005

6．产品用途

用于半导体掺杂工艺及高纯硼的制造。