过氧化氢(Hydrogen peroxide）又称双氧水。分子式H₂O₂，相对分子质量34.02。

1．产品性能

无色透明液体，30％过氧化氢在25℃时密度为1.11g/mL。过氧化氢是极弱的酸，是强氧化剂，高浓度过氧化氢接触有机物时可使其燃烧，与二氧化锰作用会发生爆炸。贮存时能分解成水和氧。

2．生产方法

采用电解法制备的过氧化氢为原料，加入列管式蒸发器内，调节蒸汽阀门控制蒸发速度，经减压蒸馏后，在串联几个水冷接收器收集过氧化氢，然后将不同接收器内过氧化氢混配成所需的浓度。超净过滤后在超净工作台内分装成品。

3．工艺流程

4．生产设备

5．生产工艺

以电解法制备的工业过氧化氢为原料，经列管蒸发器蒸发，调节蒸汽阀门以控制蒸发速度，蒸发的双氧水经减压蒸馏塔进行减压蒸馏，在串联的三个水冷接收器接收过氧化氢（前面接收器内为高浓度双氧水），然后将不同接收器内（不同浓度的）过氧化氢混配成所需的浓度。再经0.2um超净过滤器(0.2um微孔滤膜）过滤，最后在超净工作台分装。

说明：①电解法制备的工业过氧化氢浓度应＞27.5％。每吨产品约消耗1600kg工业过氧化氢。

②选择化学稳定性好的聚乙烯瓶，在超净环境下进行洗瓶和分装。

③过氧化氢为强氧化剂，遇有机物可引起火灾。接触皮肤时会引起烧伤和发痒，使皮肤变白，但经大量水冲后，数小时症状可消失。

6．产品标准

(2) MOS产品规格

(3) BV-I级产品规格

7．产品用途

高纯级产品在微电子工业中作为清洗腐蚀剂。可与硫酸、硝酸、氢氟酸和氨水配合使用。