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③量块主要检定项目的检定方法:
按量块的检定规程的要求,量块的检定项目主要有10项,见表1.4.9。现主要讨论量块测量面的平面度、量块的长度、量块长度变动量的检定方法。
a.量块的测量面平面度的检定方法。
量块测量面的平面度用直径不小于45 mm,厚度不小于11 mm的玻璃或石英平晶以技术光波干涉法测量。
对于平面度数值比较小的量块测量面,如图1.4.20 (a)所示。使平晶和量块测量面之间形成很小的楔形空气层,在白光(或单色光)照明下,由平行于量块测量面长、短两边和两对角线方向所看到的共四个方向千涉条纹图像,先以相邻两干涉条纹的间隔M为单位,读出干涉条纹的弯曲量m。以其中绝对值最大的比值作为结果,代人下式计算出被测量面的平面度误差F:
式中:m/M为干涉条纹的弯曲度(在对弓形干涉条纹引线读取弯曲度时,应注意到所引的弦线必须通过干涉条纹的中线与量块测量面上距侧面0.8 mm,并与侧面相平行的线的相交点);M为干涉条纹的间距,即相邻两干涉条纹之间的距离;几为所采用光源的波长。
图1.4.20 平面度测量干涉图形
如果测量面上,在平行测量面长、短两边(或两对角线)方向,测得平面度是凸起和凹陷方向相反的,设凸起的为m1/M,凹陷的为m2/M,则该测量面平面度合成值Fc应为
对于平面度数值较大的量块测量面,如图1.4.20 (b)所示,使平晶测量面与量块凸起的那一测量面相接触,调整平晶,使其中一条干涉条纹的中线,与量块测量面上距左侧面而且相距0.8 mm的平行线相重合,向右数出干涉条纹的整数部分N,然后以干涉条纹间隔M为单位,估读出第N条线中线与向右到测量面上到距离量块右边侧面0.8 mm之间的距离m/M。于是被测量块测量面的平面度F可由下式表示:
对于标称长度较小的量块,在用技术光波干涉法测量其平面度时,应注意避免平晶重量对测量结果的影响。平面度测量结果不超过表1.4.11的规定。
表1.4.11量块测量面的平面度的规定
注:1.距离测量面边缘0.8 mm范围内不计。
2.距离测量面边缘0.8mm范围内,表面不得高于测量面的平面。
b.量块测量面研合性的检定方法。
量块测量面的研合性,根据量块不同的等和级,选用平面度为0.03um和0.1um的平晶或标称长度不小于5.5um的研合性已确认合格的量块测量面来鉴定。见表1.4.12。
表1.4.12量块研合性
注:使用中和修理后的2等或0级量块,当研合面在照明均匀的白光下观察时,在测量面中心半径为3 mm的区域内应无光斑,其余位置可以略有光斑。
使用平晶检定研合性时,先使平晶与量块的测量面相互接触,并沿测量面切向轻轻移动。透过平晶看到研合面上干涉条纹变宽消失时,稍向研合切面法向和切向加力移动使其研合,其结果应符合表1.4.12的规定。
使用量块测量面检定研合性时,先使作为研合检定的标准量块测量面轻轻接触,并沿被检测量面切向轻轻移动。当手感研合面之间异物已经排除时,稍向研合面法向和切向加力移动,使其相互研合,其结果应符合表1.4.12的规定。
c.量块的长度和长度变动量的检定方法。
量块的长度和长度变动量的检定可同时进行。经过外观和各项表面质量(平面度、研合性等)检定合格的量块,根据被测量块的等、级,按表1.4.10的规定选择标准量块的等,当各项都达到规定的要求时,即可开始量块长度和长度变动量的测量。
首次按等检定的量块,要求量块的初始级别不低于表1.4.13的规定。
表1.4.13首检量块等级对应关系
文章来源:《计量器使用与维护》
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