在实际测量工作中，是将平晶工作面和被测面擦净后，将平晶工作面扣在被测面上，当被测面是理想平面，则平晶工作面与被测面紧密接触，没有空气层，所以看不到干涉条纹。如果被测面不是理想平面，而是凸凹不平的，则平晶工作面与被测面之间有空气层，于是我们看到的不是平行明暗交替的干涉条纹，而是变了形的干涉条纹。被测面偏差越大，干涉条纹变形越大。当偏差大到一定程度时，干涉条纹变成光圈。因此，可以根据干涉条纹的形状或光圈的数量计算出被测面的偏差量—平面度。

①根据干涉条纹计算平面度：

被测面的平面度δ是由通过平晶直径方向上干涉条纹的弯曲量(h)相对于条纹的间距(H)的比值(N)乘以所用光的波长(λ)的一半来计算的：

图1.4.26 (a)是被测面为矩形而且小于平晶的工作面的情况，图1.4.26(b)是被测面等于或大于平晶工作面的情况。

图1.4.26计算平面度示例之一

②根据光圈计算平面度：

当干涉条纹的弯曲量等于干涉条纹的间距，即h=H时，干涉条纹就变成光圈：

h/H＝N＝1

根据光圈计算平面度时，在光圈数大于1的情况下，是取平晶直径方向上光圈数最多的光圈数(N)乘以所用光的波长(λ)的一半作为平面度(图1.4.27):

从上可见，用平晶测量平面度时，是以所用光的波长的一半(λ/2)作为“尺子”进行测量的，所以能够得到很高的精度。

为了形成干涉条纹，平晶工作面的精度要求很高，表1.4.17是平面平晶工作面的平面度值。

图1.4.27计算平面度示例之二

表1.4.17平面平晶工作面的平面度

平晶用于检定量块的研合性和平面度，以及角度块、仪器和千分尺等量具工作面的平面度，用于检验高精度的平面零件。

平晶特别适于计量部门、光学车间、实验室作标准平面。在机械制造中，有一些零件的表面粗糙度尺R_a值很小，平直度要求很高，例如在机械密封装置中，阀片的平面度要求不大于0.3um。测量这样高精度的几何形状误差，其他测量方法很难完成，而利用平晶以光波干涉法进行测量却方便而准确。

文章来源：《计量器使用与维护》

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