(12)读数装置的示值误差

【要求】应不超过0.6um。

【检定方法】用3等量块检定。

在测量轴和尾管的测量杆上安装球面测帽。移动测量轴，使两球面测帽相接触，借助尾管测量杆径向调整螺钉，将球面测帽调整至正确状态(最大值)。将尺寸为1mm的量块放入两球面测帽之间。转动微米刻度，使其零线与指标线对准。调整读数装置或转动尾管测量杆的微动螺丝，使毫米刻度尺的任一毫米刻线处于0.1mm刻度尺的零线，并与螺旋线(或双线)对准。

经上述安装和调整后，依次地将尺寸为1.02mm，1.04 mm，1.06 mm，1.08 mm，1.1mm，1.2mm，1.3mm，1.4mm，1.5mm，1.6mm，1.7mm，1.9mm和2 mm的量块放入球面测帽之间，并依次使螺旋线(或双线)与毫米刻度尺的刻线对准并读数，每一点应进行四次对准和读数，取其平均值作为该点的测得值。读数装置的示值误差，以各点的误差中最大的正误差绝对值和最大的负误差绝对值之和确定。

(13)工作台面与基座导轨面在横向上的平行度

【要求】应不超过0.9mm/m。

【检定方法】用光学倾斜仪(光学象限仪)或合像水平仪检定。

检定时，将倾斜仪或水平仪按被检仪器的纵向放在工作台面上，调整工作台，使台面处于水平位置，然后将倾斜仪或水平仪按被检仪器的横向分别放在工作台面和导轨面上，读取倾斜仪或水平仪的读数，这两个读数之差即为工作台面和基座导轨面在横向上的平行度。

这一检定，应在工作台处于升降行程的上、中、下三个位置上进行。

(14)工作台横向移动与测量轴的垂直度

【要求】在25 mm长度上不大于0.03mm。

【检定方法】在仪器上安装绝缘工作台，将测微表固定在绝缘工作台上。卸下测量轴上的测量杆，升降工作台，使测微表处于测量轴线位置。移动测量轴，使其端面与测微表的测量头相接触，同时使测微表的示值调至零位或其邻近的某一值后，将测量轴固定。横向移动工作台25 mm，并观看测微表的示值变化，其变化量即为垂直度的测量值。

(15)工作台的可靠性

【要求】用球面测帽时，不大于0.2um。当水平轴紧固时，引起的示值变化不超过0.2um。

【检定方法】将测量座和尾座移至适当位置。移动测量轴，使其测量杆上的球面测帽与尾管测量杆上的球面测帽相接触，借助尾管测量杆径向调整螺钉，将球面测帽调至正确状态。移开测量轴，将尺寸为50mm的3等量块安装在工作台上。升降和移动工作台，使量块处于测量轴上。移动测量轴，使其和尾管的测量杆上的球面测帽与量块工作面相接触，然后使工作台按水平轴和垂直轴的正反向转动来找出量块的最小值。当分别以正向和反向转动工作台找到最小值时，进行读数。再改变工作台状态，重新按上述方法进行检定和读数。此项检定至少进行三次，所有读数中任一两读数之差不超过0.2um。

换上平面测帽，并将其测量面调至平行后，按上述方法再次检定。

当紧固水平轴时，观察示值的变化。

(16)工作台微分筒的示值误差和回程误差

【要求】示值误差不大于8um；回程误差不大于3um。

【检定方法】用检定极限误差不超过±1um的玻璃刻度尺和分度值为1um的读数显微镜检定。

检定时，将玻璃刻度尺安装在工作台上，并使其轴线平行于微分筒移动方向。在刻度尺的下方安装反光棱镜，如图7.3.1所示。将读数显微镜借助支架固定在基座上，当微分筒对准零位后,调整显微镜，使其对准刻度尺的零线，并记下显微镜的示值。然后以正向行程依次地每间隔5 mm检定一点，当检定至终点后，再以反向行程检定。工作台微分筒的示值误差以显微镜读数中的最大值与最小值之差确定。确定示值误差时，对玻璃刻度尺的偏差应进行修正。回程误差以同一受检点上在正向和反向行程检定时的读数差确定。

图7.3.1 工作台微分筒的示值误差和回程误差的测量
1.读数显微镜；2.玻璃刻线尺；3.反光棱镜；4.工作台

(17)测量轴和尾管的同轴度

【要求】不超过0.2mm。

【检定方法】将直径为φ8 mm的专用平面测帽安装在测量轴和尾管的测量杆上，移动测量轴，使两测帽相接触，借助尾管测量杆的径向调整螺钉，将两测帽的测量面调至平行。然后用千分尺测量两测帽的偏移程度。

文章来源：《计量器使用与维护》

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