1.品名：三氟化氮

商品编码：2812.9011

别名：氟化氮

CAS号：7783-54-2

英文名：Nitrogentrifluoride

分子式：F₃N

外观与性状：无色、无臭、性质稳定的气体。

主要用途：具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。

危险特性：本品是强氧化剂，受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧，甚至爆炸；与易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧；与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。

健康危害：本品能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道黏膜，腐蚀组织。

防护措施：

呼吸系统防护：佩戴防护口罩。

眼睛防护：必要时戴安全防护眼镜。

身体防护：穿防护服。

手防护：必要时戴防化学品手套。

其他防护：工作现场禁止吸烟。保持良好的卫生习惯。

危险性类别：氧化性气体，类别1;加压气体；特异性靶器官毒性—反复接触，类别2。

2.品名：三氟化磷

商品编码：2812.9019

别名：氟化亚磷

CAS号：7783-55-3

英文名：Phosphorus trifluoride

分子式：F₃P

外观与性状：常温常压下为无色无味有毒气体，液态为无色透明。

主要用途：用于发生气体、氟化剂、外延、离子注入。

危险特性：本品是极毒物质。

健康危害：本品对皮肤、眼睛、黏膜呈强烈刺激作用，吸入可引起上、下呼吸道炎症及肺水肿。

防护措施：

呼吸系统防护：佩戴防护口罩：

眼睛防护：必要时戴安全防护眼镜。

身体防护：穿防护服。

手防护：必要时戴防化学品手套：

其他防护：工作现场禁止吸烟：保持良好的卫生习惯。

危险性类别：加压气体；急性毒性—吸入，类别1；严重眼损伤/眼刺激，类别2B；特异性靶器官毒性—单次接触，类别3(呼吸道刺激)；特异性靶器官毒性—反复接触，类别1。

文章来源：《危险化学品归类指南下册》

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