(1)使用环境 等离子体光谱与其它大型精密仪器一样，需要在一定的环境条件下运行，否则，不仅影响仪器的性能，甚至造成损坏，缩短寿命等。根据光学仪器的特点，对环境温度和湿度有一定要求。如果温度变化太大，光学组件受温度变化的影响就会产生谱线漂移，造成测定数据不稳定；而如果环境湿度过大，仪器的光学部件，特别是光栅容易受潮损坏或性能降低。电子电路系统，特别是印刷电路板及高压电源上的部件容易受潮而短路或烧坏。此外，过高湿度有可能使等离子体不容易点燃，甚至高频发生器的高压电源及高压电路放电而损坏等。

除了应保持实验室温湿度条件外，尽量减少实验室灰尘对于ICP仪器的维护保养也显得十分重要。由于ICP仪器室一般都不具备防尘、过滤尘埃的设施，且需要采用排风机排除仪器的热量及其产生的有毒气体，仪器室与外部就形成压力差而产生负压，室外含有大量灰尘的空气流入室内，尘埃容易积聚在仪器的各个部位上，造成高压部件或接线短路、漏电等各种故障，因此，需要经常进行除尘，包括定期清洗仪器过滤网。必须注意的是，除尘应事先停机并在关掉供电电源下进行，对于需要拆卸或打开仪器的电子控制电路、高频发生器的除尘，一般应由仪器维修的专业人员进行。

(2)气体控制系统 ICP的气体控制系统是否稳定正常地运行，直接影响到仪器测定数据的好坏，如果气路中有水珠或其它固体杂质等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。首先要做气体密封试验，开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则说明气路中有漏气现象，需要检查和排除。另外，由于氩气中常夹杂有水分和其它杂质，管道和接头中也会有一些机械固体杂质脱落，造成气路不畅通。因此，需要定期进行清理，拔下某些区段管道，然后打开气瓶，短促地放一段时间的气体，将管道中的水珠、尘粒等吹出。应定期检查或更换气体过滤芯，确保通入仪器的气体为干燥、洁净的气体。

(3) 雾化器 ICP雾化器是进样系统中最精密、最关键的部分，需要很好地维护和使用。由于雾化器喷嘴出口很小，容易受样品溶液中盐分或其它不溶物堵塞，容易造成气溶胶通道不畅，常常反映出来的是待测元素谱线测定强度下降等。应定期对其清理，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的喷嘴会积有盐分，更应注意清洗。
除交叉雾化器之外，一般同心雾化器都是用硼硅酸盐玻璃或石英制造，因此使用时需要特别小心，以免破碎，任何时候均勿对其施加很大机械力，特别是雾化器喷嘴，切勿在超声波池中洗刷雾化器。切勿尝试使用导线或探头去除雾化器堵塞，这样做很可能造成损坏。在不用时应加以保护。

① 每次开始和结束使用同心雾化器时，先送入微酸度空白溶剂，然后喷入去离子水几分钟。这样可确保当溶剂在雾化器内变干时，不会形成样品沉积或晶粒。

② 如果同心雾化器被堵塞，可使用稀硝酸或盐酸(也可两者的混合酸)浸泡，但必须注意不可对玻璃或石英使用HF(氢氟酸)。必要时还可加热清洗，目前，也有专用的酸雾化器清洗工具，如E1uo雾化器清洗器可用来定期清洗和维护雾化器。

(4)ICP炬管 石英炬管由石英制成，因此应小心对待，不要施加较大的机械力，尤其是在连接气体导管或装到炬管架内的时候。请勿使用金属或陶瓷刷或刮擦工具，以免造成损坏。同样，请勿在超声波清洗器内清洗石英炬管。炬管上积尘或积炭都会影响点燃等离子体焰炬和保持稳定，也影响反射功率，因此，要定期用酸洗，如将炬管在10％的HCl内浸泡，可以去除大部分盐沉积，然后水洗，最后，用无水乙醇洗并吹干，经常保持进样系统及炬管的清洁。

采用酸难清洗的污染，有时也可通过高温方法消除。可将炬管放入450℃的马弗炉内烘烤30min，这种方法可以很好地去除有机样品导致的碳沉积。

炬管清洗后重新安装，其安装位置很重要，如炬管位置不正确，容易导致等离子体无法点炬或炬管熔化。此外，如果氩气流量设置不正确，或是流量中断，又或是氩气管路内出现裂缝，也可能会引起炬管熔化。当然，随着炬管点燃时间的推移，炬管靠近等离子体一端的石英容易不再透明(析晶现象)。主要是由于石英表面污染，如样品盐分或油的沉积，这些污染物在高温下会导致石英快速析晶。因此，应避免裸手操作石英炬管防止人体的油脂在炬管表面沉积，加速石英的析晶并显著减少炬管的使用寿命。

(5 )雾化室 避免接触雾化室内部表面的任何地方，否则可能破坏其湿润特性。

有些仪器可配置塑料材质的雾化搴，如SCOTT雾化室，这种雾化室非常结实，可用于HF分析，但大多数仪器一般用玻璃或石英特制的旋流雾化室，因此需要小心使用。特别是当连接引流管和喷雾管或雾化器时，切勿对其施加很大机械力，切勿将玻璃雾化室撞到硬物，或在不用时不加任何保护。切勿使用金属或陶瓷刷或刮擦工具。切勿在超声波池中洗刷雾化室，或使用HF来清洗，否则很可能造成损坏。

如果雾化室的内部表面上有小滴积聚，或雾化室被样品沉积物所污染，应将其浸泡在清洁溶液(例如Glass Expansion公司提供的25％强度Fluka RBS-25溶液)中一整天或更长。如果这样做仍无法去除污染，可以使用其它酸来浸泡，但不能使用氢氟酸溶液(塑料雾化室除外)。
一个好的日常维护做法是，在每次开始和结束使用玻璃喷雾室时，先送入稀酸空白溶剂几分钟。这样可确保当溶剂在雾化室内变干时，不会形成样品沉积或晶粒。

(6) 其它 光学玻璃观察窗：仪器在使用过程中，元素的谱线强度随着时间的推移持续缓慢地下降。这是因为接收光信号的石英窗凸透镜有污点，需拆下来用清水冲洗或用20％硝酸浸泡后再用二次水冲洗干净即可。

(7) 维护保养频率 在仪器正常使用中，维护保养是一项经常性工作，更强调的是日常操作中的维护和保养。因此，应制定仪器的操作规程和维护制度，按照仪器说明书做到定期保养与定期检查，实行仪器操作登记使用制度，这对于提高仪器使用寿命，保证检验工作的正常进行是非常重要的。以下维护保养频率供参考：

① 每月用超声波清洗雾化室、炬管、样品喷射管；

② 每月用硝酸浸泡雾化器；

③ 每月清洗蠕动泵的滚轴；

④ 每三个月取下石英窗，用无水酒精擦拭；

⑤ 每四个月检查循环水过滤网，更换循环水，清洗水循环系统；

⑥ 每四个月更换光谱仪上的风扇过滤网；

⑦ 测试有机样品后用软布清洁炬室，防止有机成分沉积；

⑧ 进样管、蠕动泵管、废液管、垫圈等消耗品根据使用情况及时更换；

⑨ 每年根据仪器公司提供的日常维护条款对仪器做全面保养。