为了保证设备正常高效的运转，加强设备操作中的安全性，仪器的维护保养相当重要。如果仪器没有及时维护保养，可能会影响仪器某些部件的运行，从而导致整个仪器最终出现故障。下面以PANalyticalEpsilon5能量色散X射线荧光光谱仪为例，叙述仪器的维护保养频率和维护项目。

(1)维护频率

①每日维护保养清扫仪器表面灰尘，打扫仪器内部卫生，检查仪器探测器制冷装置等部件运行有无异常。

②定期维护保养清洗仪器各通风口滤网，检查仪器电源质量、接地状况是否良好，检查仪器消耗品的使用情况，比如，检查真空泵油的液位，给真空泵排水，冷却循环水有无干涸、漏水或者明显变色长菌等。视情况可以分为一个星期、一个月、三个月、一年的定期维护保养。

③生产厂家维护保养对维护困难和不能维护的部件根据需要邀请仪器公司对仪器做全面保养。比如，可以根据分析样品情况，对分光室以及探测器等进行维护保养。

(2)填充液氮当软件提示需要填充液氮时，请按说明操作。在这种情况下，重新填充过程应在提及的时间范围内完成，一般一个星期需要填充一次。在重新填充之后，必须激活“光谱仪”-“维护”-“探测器”窗口中的手工启动氮含量水平校正的“校正”按钮。按以下步骤填充液氮：

①将液氮罐移近Epsilon5仪器旁边；

②戴上安全眼镜和安全手套；

③将液氮罐出口用专用连接管连接到仪器液氮罐进口；

④打开液氮罐开关，填充液氮，当仪器液氮罐出口有少量液氮溢出的时候，关闭液氮罐开关，断开连接；

⑤激活“光谱仪”“维护”-“探测器”窗口中的手工启动氮含量水平校正的“校正”按钮。

(3)更换冷却循环水

①关闭光谱仪电源，拔下电源线；

②卸下仪器后面的面板；

③卸下水箱，将水箱里面的水倒出，清洗水箱后，用新的冷却循环水加满水箱；

④安装好水箱，将后面的面板装上；

⑤开启仪器，测试Epsilon5系统。

(4)更换真空泵油

①关闭光谱仪电源，拔下电源线；

②卸下仪器左侧的面板；

③打开真空泵油箱开关，放出真空泵油，放完后用新的真空泵油清洗油箱，直到将里面的残留物清洗干净，然后关上真空泵油箱开关，加入真空泵油；

④装上左侧的面板；

⑤开启仪器，测试仪器真空系统。

(5)更换氦气瓶

①将介质从“氦气”切换至“空气”；

②从光谱仪上取下氦气瓶；

③将新的氦气瓶装到光谱仪上；

④将介质从“空气”切换至“氦气”，测试氦气系统。

(6)清洁装样区域

①记下光路室内的气压，卸下样品交换台；

②关闭光谱仪电源，拔下电源线；

③卸下样品盖电机装置并且拿下样品盖，卸下装样区域盖板、挡盖；

④清洁装样区域，装上装样区域挡盖、盖板；

⑤重新装上样品盖电机装置并且装上样品盖；

⑥开启仪器，测试Epsilon5系统。

(7)检查测量室的检视插头

①将介质设置为“空气”；

②关闭光谱仪电源，拔下电源线；

③打开前面板挡门并且卸下右侧面板，拔下光路窒底部的两个接触插头；

④真空清洁测量室，清洁并装上两个接触插头；

⑤装上右侧面板并且合上前面板挡门；

⑥开启仪器，测试Epsilon5系统。

(8)更换真空预抽管道凝气筒中的颗粒

①关闭光谱仪电源，拔下电源线；

②打开前面板挡门，释放真空预抽管道凝气筒中的真空；

③打开真空预抽管道凝气筒，取下外框装置，更换氧化铝颗粒；

④重新装上外框装置，关闭真空预抽管道凝气筒，合上前面板挡门；

⑤开启仪器，测试Epsilon5系统。

(9)更换X射线灯

①关闭光谱仪电源，拔下电源线；

②从X射线灯的线圈上卸下两个电源按钮连接器，卸下X射线灯装置，更换X射线灯；

③装上X射线灯装置；

④将两个电源按钮连接器重新连接到X射线灯的线圈上；

⑤开启仪器，测试Epsilon5系统。

(10)更换密封滤光片

①记下光路室内的气压，卸下样品交换台；

②关闭光谱仪电源，拔下电源线；

③卸_F仪器后面的面板，打开密封滤光片装置；

④卸下密封滤光片，清洁密封滤光片装置，装上新的密封滤光片；

⑤关上密封滤光片装置，将后面面板装上；

⑥开启仪器，测试Epsilon5系统。

(11)清洗机舱滤尘片

①关闭光谱仪电源，拔下电源线；

②卸下仪器后面的面板，卸下机舱滤尘片；

③用干净清水将机舱滤尘片冲洗干净，用风筒将其吹干；

④上机舱滤尘片，装上仪器后面的面板。

(12)更换样品盖中的O形圈

①记下光路室内的气压，卸下样品交换台；

②关闭光谱仪电源，拔下电源线；

③盖上装样区域，从样品盖上拉出O形圈；

④清洁盖上的O形圈槽以及装样区域，装上新的O形圈；

⑤开启仪器，测试Epsilon5系统。