ICP-MS具有灵敏度高、检出限低(10^-15～10^-12量级)、动态线性范围宽(8～9个数量级)、谱线简单、干扰较少、分析精密度高、分析速度快等特性，可进行多元素同时测定、同位素分析和元素形态分析。

① 灵敏度高、检出限低。绝大部分金属元素的检测限低于0．01ng／mL，尤其在分析稀土元素方面，ICP-MS具有其独特的优势。

② 在质荷比(m／z) 2～270范围内，以10～100μs高速进行扫描，很方便地实现多元素的半定量和定量分析。

③ 半定量分析可测定约80个元素，绝大多数元素的测定误差小于20％。

④ 可测定约80种元素及其同位素。分析同位素比值的能力，为从事地质学、生物学及中医药学研究上追踪物质来源的研究及同位素示踪提供检测手段。

⑤ 可与色谱和毛细管电泳等技术联用，实现元素的形态分析，被认为是目前最有效和最有前途的形态分析技术。