HFC是重要的工业原料和工质，但工业生产过程中产生的HFC-23排放将产生较大的温室效应。工业领域HFC处理技术主要有辅助燃料加热焚烧工艺和等离子体加热焚烧工艺。等离子体焚烧技术利用等离子体加热产生高温使HFC分解，降低HFC温室效应。目前该技术正在行业内推广，普及率还较低。

HFC-23处理技术的低碳特征明显，减排潜力大，且减排成本低廉。我国作为制冷剂HFC-22的生产大国,其副产物三氟甲烷产量巨大，所以该技术未来具有良好的发展前景。预计未来5年，该技术推广比例将达到4%，可形成年减排900万吨二氧化碳的能力。

有机硅行业在生产有机硅单体甲烷氯化物的过程中，都会产生2%~10%的副产物四氯化碳。随着有机硅单体装置的迅猛扩张，作为副产物的四氯化碳的处理成为一大难题。四氯化碳是破坏臭氧层主要物质（ODS）之一，破坏臭氧层潜力值（ODP）为1.1，对大气臭氧层有较大破坏作用。利用四氯化碳来生产三氟丙烯，不仅利用了工业过程中产生的副产四氯化碳，而且可生产三氟丙烯，进一步制成新型材料氟硅橡胶或含氟农药、医药和其他含氟化工产品。