(11)测角显微镜的示值误差

【要求】不超过1'。

【检定方法】用刀口直角尺检定。

检定时，转动测角显微镜的度盘，使其示值于零位。将直角尺平放在仪器的工作台上，升降主显微镜臂架，使在主显微镜中见到清晰的直角尺的长边刀口影像，调整工作台使刀口影像平行于测角目镜十字线的水平线。依次转动测角显微镜的度盘，移动纵、横向滑板，使十字线的水平线与直角尺的短边和长边刀口影像交替地平行，并按测角显微镜读出受检点的误差。误差中的最大值与最小值之差即为测得的测角显微镜的示值误差。

再转动测角显微镜的度盘，使其示值于45^o。转动直角尺并调整工作台，使直角尺的长边刀口影像平行于原测角目镜十字线的水平线，然后按上述方法检定测角显微镜的示值误差。

上述两起始部位检得的示值误差均应符合要求。

(12)读数装置的示值误差

【要求】应不大于0.6um。

【检定方法】用3等量块检定。

检定时，用分度值为0.1um的电感式测微仪或光学计和三珠定位块(或杆)，并安装与调整。转动微米刻度，使其零线与指标线对准。移动滑板，使毫米刻度尺的任一毫米刻线处于0.1 mm刻度尺的零线，并与螺旋线(或双线)对准。将尺寸为1 mm的量块放人电感式比较仪或光学计的测量头与三珠定位块之间，并调整电感式比较仪或光学计的示值于零位或邻近的某一值。然后依次地将尺寸为1.02 mm，1.04 mm，1.06 mm，1.08 mm，1.1mm，1.2 mm，1.3mm，1.4mm，1.5mm或1.6mm，1.7mm，1.8mm，1.9mm和2 mm的量块放入电感式比较仪或光学计的测量头与三珠定位块之间，并依次地将读数装置的示值处于受检位置，移动滑板，使毫米刻度尺的刻线与相应的螺旋线(或双线)对准，以及按电感式比较仪或光学计读数。各受检点上的误差按式(6.3.4)计算，即

δ_i＝(a_i-a₀)-(△L_i-△L₀)(mm)               (6.3.4)

式中：△L_i,△L₀分别为受检点和对零位时所用量块的偏差(mm), a_i,a₀分别为受检点和对零位时电感式测微仪或光学计上的读数(mm)。

读数装置的示值误差，以各点误差中最大值与最小值之差确定。

(13)读数装置的回程误差

【要求】万能工具显微镜不大于0.3um；大、小型工具显微镜不大于2um。

【检定方法】检定万能工具显微镜读数装置的回程误差时，移动滑扳，使毫米刻度尺的任一毫米刻线位于任一0.1mm双线(螺旋线)处，以正向和反向转动微米刻度，使0.1 mm双螺旋线对准毫米刻线，并按微米刻度进行读数。以正向和反向各自四次对准和读数的平均值之差作为该位置上的测得值。读数装置的回程误差检定，至少在均匀分布于微米刻度的五个不同位置上进行。

大、小型工具显微镜微分筒的回程误差，根据示值误差检定所得的数据，分别在各受检点上以正、反两行程时的误差的差值确定。

(14)仪器的示值误差

【要求】万能工具显微镜应不超过,L为被检仪器毫米刻度尺的测量长度(mm)。

【检定方法】用检定极限误差不大于0.5um的玻璃刻度尺检定。

检定万能工具显微镜时，移动滑板使毫米刻度尺处于零位。将玻璃刻度尺放置在仪器工作台的中间位置，它的刻线面背着物镜。在主显微镜上安装轮廓目镜。调整玻璃刻度尺，使其零线处于轮廓目镜视场中的双线附近。调整工作台，使玻璃刻度尺平行于滑板移动方向，微动滑板，使玻璃刻度尺的零线影像与轮廓目镜视场中的双线对准，并按读数装置进行读数。然后依次地移动滑板25 mm，使玻璃刻度尺的相应刻线影像与轮廓目镜中的双线对准，并依次地按读数装置进行读数。每点均应进行四次对准和读数，取其平均值作为该点上的读数。各点上的误差按式(6.3.5)计算，即

δ_i＝(a_i-a₀)-L_i(mm)             (6.3.5)

式中：a_i,a₀分别为各受检点和起始点上仪器的读数(mm); Li为玻璃刻度尺所用的一段实际尺寸(mm)。

万能工具显微镜示值误差的检定，在正向和反向行程上进行。任意两点在正向和反向行程上测得的误差的最大差值，均应符合要求。

文章来源：《计量器使用与维护》

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