六氟化钨（Tungsten hexafluoride）分子式WF₆，相对分子质量297.92。

1．产品性能

在常温常压下，六氟化钨是一种无色、刺激性和腐蚀性很强的气体。有毒！对眼睛、皮肤的腐蚀性是极其严重的，产生的烧伤类型同氟化氢一样，在空中允许极限浓度（TLV）为10mg/m³。气体密度是空气的10倍。于17.1℃冷凝为淡黄色的液体，而在低于2℃时便生成白色固体，凝固点2.3℃，沸点17.2℃，三相点2.0℃ ,液体密度（15℃) 3.441g/mL。六氟化钨很容易水解生成WO₂和HF，是强氧化剂，在室温下能与许多金属反应。

2．生产方法

高纯钨粉与氟于350-450℃下发生氟化，得到六氟化钨，进一步经真空蒸馏，得高纯六氟化钨。

3．工艺流程

4．生产工艺

在装有高纯钨粉的反应器中，导入经过净化的高纯F₂，控制反应温度在350-450℃,氟化反应产物经过1-3级接收器，在第一级回收高沸点杂质，第二级在-80℃回收WF6，第三级在-196℃回收过剩F₂。得到的六氟化钨粗品送入真空蒸馏器中蒸馏，在低温下收集高纯WF₆。

5．产品标准

6．产品用途

在电子工业中，高纯六氟化钨用于离子注入或化学气相淀积（CVD）硅化钨或钨膜，用以制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极，还用于抗X射线、γ射线的保护罩及高效太阳能吸收器生产中。

7．安全与贮运

六氟化钨为有毒气体，原料氟具有强氧化性和腐蚀性。车间应加强通风，操作人员应穿戴劳保用具。产品采用0.7L,1.3L钢瓶充装。按有毒气体贮运。