三氯氧磷(Phosphorus oxychloride）又称磷酰氯(Phosphoryl chloride)、氧氯化磷。分子式POCI₃，相对分子质量153.33。

1．产品性能

无色透明发烟液体。凝固点2℃，沸点105.3℃。相对密度1.675。易挥发，有强烈的刺激气味。露于潮湿空气中，水解为磷酸和氯化氢，产生白烟。易被水和乙醇分解，并放出大量热和氯化氢。有强腐蚀性。

2．生产方法

(1)氯化水解法 以三氯化磷滴水通氯，再进行蒸馏而得。

PC1₃+C1₂+H₂O→POCI₃+2HCI

(2)三氯化磷氧化法 用干燥的氧气与三氯化磷作用生成三氯氧磷。

2PC1₃+O₂→2POC1₃

(3)五氯化磷合成法 由五氧化二磷与五氯化磷作用制得。

P₂0₅+3PCI₅→5POC1₃

(4)三氯化磷合成法 由三氯化磷和氯酸钾反应，得到三氯氧磷。

3PC1₃+KC10₃→3POC1₃+KC1

工业生产多采用氯化水解法。

3．工艺流程

(1)氯化水解法

(2)三氯化磷合成法

4．技术配方

5．生产工艺

(1)氯化水解法 在1OOOL的夹层反应釜中，加入1300kg PC1₃，然后滴水并通氯，加水量为：PCl₃质量×0.13；通氯量为：PC1₃质量×0.516。控制氯气与水的比在3.97左右。通氯及滴水速度分别为25-35kg/h和6.25-8.8kg/h。氯气与三氯化磷作用生成五氯化磷，生成的五氯化磷水解生成三氯氧磷和氯化氢。氯化氢用水吸收得到副产物盐酸。

当氯气和水量加足后，即可用夹套蒸汽加热（105-109℃)，使反应器内反应物气化，经空塔冷凝器冷凝后，再全部回流入反应器中。然后二次通氯，以继续氯化残存的三氯化磷。当回流至反应物色泽洁白且三氯化磷残存量在0.2％以下时，即可由冷凝器直接导出作为成品。

(2)三氯化磷合成法 在装有回流冷凝器的反应器中，加入200g三氯化磷，慢慢加入研细的氯酸钾，每次0.5-1.Og，共加入66g。反应剧烈进行。反应完毕，蒸馏收集沸点105-108℃馏分得三氯氧磷。

6．产品标准（％）

7．产品用途

在电子工业用于半导体生产的外延、扩散工序，用作半导体掺杂源及光导纤维材料。也用作制药工业的氯化剂和催化剂。