电子级水（Water, electronic grade）分子式H₂O，相对分子质量18.02。

1．产品性能

无臭、无味、无色透明液体。在25℃时理论纯水电阻率为18.25MΩ·cm，在4℃时密度为1.OOOOOOg/mL, pH (25℃）为6.999。沸点100℃，凝固点O℃。

2．生产方法

以自来水为原料，经多介质过滤器过滤，活性炭吸附，再经反渗透处理，离子交换后，经3 um过滤器得粗纯水，然后，将粗纯水进一步离子交换，通过紫外光杀菌后，经0.2um微孔过滤得到电子级水。

3．工艺流程

4．生产设备

5．生产工艺

一般城市自来水为原水，通常总含盐量在（200～500)×10^-6范围内，预处理可选无烟煤和石英砂作为多介质过滤器滤料和活性炭吸附，对原水机械杂质、有机物、细菌进行除去，而对无机离子效果不大。

采用反渗透膜技术可以除去水中溶解性无机盐、有机物、胶体、微生物、热原及病毒等。反渗透膜一般为醋酸纤维素、聚酞胺复合膜，其孔径为0.4～1.Oum，当施加压力超过自然渗透压时，原水中盐类、细菌及不溶物质被截留，而穿过半透膜为含盐量低的淡水，脱盐率可达95％以上。

离子交换混合床主要用于除去无机离子，用它可除去溶解为微粒的无机盐，溶解的气体、SO₂ ,NH₃及微量Cl，从而达到净化水的目的。

微滤是制备电子级水关键技术之一，微孔过滤是目前应用最广泛的膜分离技术。通过0.1～l0um微孔膜过滤可以除去溶液中微粒、胶体、微生物和细菌。在电子级水制备工艺中，采用粗滤(3～10um）过滤器和精滤(0.2um或0.45um）过滤器，可以除去水中微粒、树脂碎片、细菌等。精滤常用于水终端或用水再处理。

在精处理系统中采用两级紫外线杀菌器（一级为185nm杀菌器，另一级为2540nm杀菌器），来杀灭水中细菌微生物。

6．产品标准（电子级水标准，GB 11446)

7．产品用途

微电子技术在飞速地发展，尤其是20世纪80年代以来，每隔2～3年就有新一代集成电路间世。超净高纯试剂是集成电路制造工艺中所需的专用试剂。由于试剂在清洗、光刻工序中直接与硅片相接触，随着集成度不断地提高，对试剂中可溶性杂质和固体颗粒的控制也越来越严，同时对生产环境、提纯工艺和洗瓶、包装都提出更高的要求。

电子级水在微电子工业中或在超净高纯试剂制备中可作为溶剂、清洗剂，使用极广，用量相当大。