1.环化聚异戊二烯抗蚀剂

英文名称：cyclized polyisoprene resist

主要成分：环化聚异戊二烯、交联剂、稳定剂

(1)性能指标

(2)生产原料与用量

(3)合成原理传统的生产方法是将天然橡胶或聚异戊二烯经环化反应制得环化天然橡胶或环化异戊二烯橡胶。而现今生产上大多以异戊二烯为原料制备环化橡胶，该法又有二步法及连续制备法两种。二步法中第一步是将异戊二烯单体合成为聚异戊二烯，第二步将聚异戊二烯经环化反应制备环化橡胶然后经精制、配胶等工艺后制得抗蚀剂产品。连续制备法是由异戊二烯单体聚合成一定分子量的聚异戊二烯，然后停止聚合再连续环化的方法。合成反应如下：

①聚合反应

②环化反应

(4)生产工艺流程(参见图10-17)

①将高纯度的异戊二烯加入聚合釜Dl0l，再加入经脱水精制过的二甲苯中，搅拌下溶解。加入引发剂丁基锂，控制温度80～90℃，在聚合釜内进行聚合反应。

②待聚合反应产物的分子量及黏度符合要求后，加入终止剂使聚合反应停止，同时降温，产物转入环化釜D102。

③加入环化反应催化剂对甲苯磺酸进行环化反应，待环化反应进行到一定程度时加入环化反应终止剂，进入E101洗涤塔加水充分搅拌清洗反应液，使金属杂质、催化剂进入水层分离，清洗后物料经F101浓缩，后输送到配胶釜D103中。

④在配胶釜D103中，搅拌下再加入适量交联剂、稳定剂，搅拌均匀得到一定黏度和浓度的胶液，经过滤后得抗蚀剂产品。

图10-17  环化聚异戊二烯生产工艺流程

(5)产品用途  主要用于中、大规模集成电路、功率管、精密机械制造等方面的微细加工。

2.聚对苯乙烯导电聚合物

英文名称：poly (p-phenylenevinylene) conducting polymer

分子式：(C₄H₁₀)_n(CHO)₂

(1)性能指标

(2)生产原料与用量

(3)合成原理以氯化对苯二甲基-三苯基磷、对苯二甲醚为主要原料，通过Wittig反应合成，反应式如下：

(4)生产工艺流程(参见图10-18)

①首先把原料氯化对苯二甲基二苯基磷(从乙醇、乙醚混合溶剂中结晶而得)与对苯二甲醛加入反应釜D101中，再加入无水乙醇，搅拌溶解。

②将催化剂铝溶解于乙醇中配制成铝的乙醇溶液。将该溶液滴加于反应釜D101中。在50～60℃反应3～5h溶液变成深橘红色，经L101过滤得明亮的柠檬黄沉淀物。

③用乙醇洗涤，L102真空干燥得固体PPV。

④与AsF5掺杂制得具导电性的PPV导电聚合物。所得产品用苯萃取，除去所含的低分子量的原料即可。

图10-18  聚对苯乙烯(PPV)导电聚合物生产工艺流程

(5)产品用途  可用于制作导电塑料、电磁屏蔽材料、抗静电材料等。