(5)纵、横向滑板移动的垂直度

【要求】万能工具显微镜不超过0.003mm/100mm。

【检定方法】用矩形直角尺和分度值为0.001 mm的扭簧测微表检定。

检定时，将直角尺安装在仪器的工作台上。测微表借助夹具安装在主显微镜上，并调整表的测量轴线处于水平状态，且与横向滑板移动方向平行。移动横向滑板，使测微表的测量头与直角尺工作面接触。调整直角尺使其长工作面平行于纵向滑板移动方向。然后改变测微表的测量方向，使表的测量轴线垂直于直角尺的短工作面。移动纵向滑板，使测微表的测量头与直角尺的短工作面接触，并使表的示值于零位或邻近的某一值。移动横向滑板，观看测微表上的示值变化。对所用直角尺的直角偏差加以修正后，即为纵、横向滑板移动的垂直度的测得值。

(6)立柱位于零位时，光轴对工作台面的垂直度

【要求】用量块检定时，量块两工作面的影像应同等清晰。

【检定方法】将尺寸为2～3 mm的量块研合在尺寸为20～50 mm的量块上，然后把研合的量块平放在仪器的工作台上。调节可变光阑至最小孔径。升降主显微镜臂架，直至在主显微镜中见到量块的影像为止，这时观察量块两工作面的影像是否同等清晰。再将量块调转180^o方位，观察量块两工作面的影像是否也同等清晰。

这一检定，应在仪器的纵向和横向两个方位上进行。

(7)立柱位于零位时，主显微镜臂架沿立柱移动方向与工作台面的垂直度

【要求】万能工具显微镜不超过0.06 mm/100 mm。

【检定方法】用尺寸为160 mm×100 mm的1级宽座直角尺和分度值为0.001mm的千分表检定。

检定时，将千分表用夹具固定在主显微镜上。直角尺分别按仪器的纵向和横向行程安装在工作台上。调整千分表，使其测量轴处于水平状态且垂直于直角尺工作面，并使表的测量头与直角尺工作面接触。升降主显微镜臂架100 mm，记下千分表示值的变化量△x和△y。主显微镜臂架沿立柱导轨移动方向与工作台面的垂直度△按式(6.3.1)求得，即

(8)读数装置放大倍数的正确性

【要求】不超过0.5um。

【检定方法】读数装置与毫米刻线尺的相符性检定，应先使微米刻度示值于零位，移动滑板，使毫米刻度尺的任一毫米线与0.1 mm刻度尺零线位置的螺旋线对准，然后在观看相邻的一条毫米刻线尺是否与螺旋线也对准时，转动螺旋线使其对准，并按微米刻度读出其差值。这一检定应至少分布于毫米刻度尺5个不同的位置上进行。放大倍数误差按式(6.3.2)计算求得，即

(9)主显微镜放大倍数的正确性

【要求】放大倍数的误差，使用测角目镜，装上1×,1.5×和3×物镜不大于0.1%；装上5×物镜不大于0.15%。使用轮廓目镜，装上1×、1.5×和3×物镜不大于0.15%。

【检定方法】用检定极限误差不大于±0.5um的专用刻度尺检定。

在主显微镜上安装测角目镜检定时，分别装上各倍物镜。专用刻度尺放置在仪器的玻璃工作台上。升降主显微镜臂架．使在主显微镜视场内见到清晰的刻度尺刻线影像。调整工作台，使刻度尺平行于纵向滑板的移动方向，转动测角度盘，使测角目镜的示值于零位。移动纵向滑板，使刻度尺的零线与测角目镜中相距最远的两条刻线中的一条刻线对准，然后观察另一条刻线与刻度尺上相应的刻线是否重合，若不重合、则从纵向读数装置中读出其偏差△。主显微镜放大倍数误差△β按式((6.3.3)计算求得，即

式中：L为检定时所用刻度尺上两条刻线的间距(mm)。

在主显微镜上安装轮廓目镜检定时．其方法与上述相同。

(10)测角显微镜处于零位时，则角目镜的十字线与滑板移动方向的平行度

【要求】不大于1'。

【检定方法】用尺寸为100 mm×63 mm的刀口直角尺检定。

检定时，将直角尺放置于仪器的工作台上，升降主显微镜臂架，在主显微镜中见到清晰的直角尺的刀口影像。调整工作台，使直角尺的长边刀口影像平行于纵向滑板的移动方向。转动测角目镜的十字线分划板，使其水平线与直角尺的长边刀口影像平行。观察测角显微镜的示值是否为零，若不是零，则读出其偏差。

移动纵向滑板，使直角尺的短边刀口影像位于测角目镜中十字线的交点处，转动十字线分划板，使其垂直线与直角尺短边刀口影像平行，再观察测角显微镜的示值是否为零，若不为零，则读出其偏差。上述所测得的偏差，均应符合要求。

相关链接：万能工具显微镜的检定项目（一）

文章来源：《计量器使用与维护》

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